एलसीडी आरएफ प्लाज्मा उपकरण

एलसीडी आरएफ प्लाज्मा उपकरण एलसीडी, ओएलईडी और अन्य फ्लैट पैनल डिस्प्ले सामग्री की सतह के उपचार के लिए विकसित एक उच्च प्रदर्शन प्रणाली है। इसे आधुनिक विनिर्माण की कठोर मांगों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जहां स्थिर प्रसंस्करण और उच्च थ्रूपुट समान रूप से महत्वपूर्ण हैं। समग्र प्रणाली का माप 880 मिमी × 790 मिमी × 1710 मिमी है, जिसमें वैक्यूम कक्ष का आकार 450 मिमी × 450 मिमी × 450 मिमी है। प्रत्येक इलेक्ट्रोड प्लेट 410 मिमी × 430 मिमी है, और सब्सट्रेट की पांच परतों तक को एक ही चक्र में एक साथ संसाधित किया जा सकता है।

 

कार्यात्मक दृष्टिकोण से, उपकरण उपयोगकर्ता के अनुकूल एचएमआई प्रदान करता है जो आरएफ आउटपुट पावर, वैक्यूम पंपिंग अवधि, व्यक्तिगत उपचार खंड और गैस प्रवाह दर जैसे प्रमुख प्रक्रिया मापदंडों के सीधे समायोजन की अनुमति देता है। इन सेटिंग्स को विभिन्न सामग्रियों या प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुकूल बनाने के लिए जल्दी से संशोधित किया जा सकता है, जो औद्योगिक संचालन के लिए लचीलापन और स्थिरता दोनों प्रदान करते हैं।

गैस वितरण प्रणाली तीन स्वतंत्र चैनलों का समर्थन करती है और नाइट्रोजन (N₂), आर्गन (Ar), हाइड्रोजन (H₂), और ऑक्सीजन (O₂) को संभाल सकती है। फ्लो मीटर को 0-200 मिली/मिनट की सीमा के भीतर कैलिब्रेट किया जाता है, नियंत्रण सटीकता के साथ उतार-चढ़ाव को 5% से नीचे रखा जाता है। सभी प्रमुख वायवीय घटकों की आपूर्ति एसएमसी द्वारा की जाती है, और चैम्बर सीलिंग टिकाऊ फ्लोरो रबर गास्केट पर निर्भर करती है, जो मांग वाले वातावरण में दीर्घकालिक स्थिरता सुनिश्चित करती है। प्लाज्मा 13.56 मेगाहर्ट्ज पर चलने वाली स्व-अनुकूली आरएफ बिजली आपूर्ति के माध्यम से उत्पन्न होता है, जिसका अधिकतम उत्पादन 1 किलोवाट होता है, जो समान उपचार के लिए विश्वसनीय ऊर्जा वितरण की गारंटी देता है।

संरचनात्मक रूप से, चैम्बर ऑक्सीकरण और संक्षारण को कम करने के लिए उच्च शुद्धता 304 स्टेनलेस स्टील से निर्मित होता है। सिस्टम वैक्यूम अखंडता के लिए दोहरी सील डिज़ाइन का उपयोग करता है, जबकि चैम्बर के पीछे तांबे के इलेक्ट्रोड धारक कई स्क्रू लॉक के माध्यम से क्षैतिज इलेक्ट्रोड प्लेटों को सुरक्षित करते हैं, जिससे स्थिरता और ऊर्जा हस्तांतरण में सुधार होता है। अतिरिक्त साइड सपोर्ट इलेक्ट्रोड को और मजबूत करते हैं। वैक्यूम संतुलन को अनुकूलित किया गया है: एक तीव्र रिलीज वाल्व 5-10 सेकंड के भीतर दबाव को बराबर करने की अनुमति देता है, निष्क्रिय समय को कम करता है और उत्पादकता को बढ़ाता है।

परिचालन सुरक्षा सुनिश्चित करने के लिए, मशीन एक फॉल्ट अलार्म सिस्टम से सुसज्जित है। यह किसी भी असामान्य घटना की तारीख, समय और कारण को लॉग करता है, जबकि चैम्बर और वर्कपीस दोनों की सुरक्षा के लिए स्वचालित शटडाउन चालू हो जाता है।

अनुप्रयोग के संदर्भ में, इस उपकरण को फ़्लिप{0}}चिप अंडरफ़िल प्रक्रियाओं के लिए व्यापक रूप से अपनाया जाता है। अंडरफिल से पहले प्लाज्मा की सफाई सतह की सक्रियता को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाती है, वेटेबिलिटी में सुधार करती है, और सब्सट्रेट और एनकैप्सुलेंट के बीच आसंजन को बढ़ाती है। परिणामस्वरूप, यह न केवल पैकेजिंग गुणवत्ता में सुधार करता है बल्कि उन्नत डिस्प्ले और सेमीकंडक्टर असेंबलियों की दीर्घकालिक विश्वसनीयता को भी बढ़ाता है।

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