प्लाज्मा क्लीनर के विशिष्ट अनुप्रयोग

प्लाज्मा सफाई/नक़्क़ाशी मशीनें एक विद्युत क्षेत्र बनाने के लिए एक सीलबंद कंटेनर में दो इलेक्ट्रोड रखकर प्लाज्मा उत्पन्न करती हैं। एक निश्चित वैक्यूम स्तर को बनाए रखने के लिए वैक्यूम पंप का उपयोग किया जाता है। जैसे-जैसे गैस तेजी से विरल होती जाती है, अणुओं और अणुओं या आयनों की मुक्त गति के बीच की दूरी भी बढ़ती जाती है। विद्युत क्षेत्र के प्रभाव में, ये आयन टकराते हैं और प्लाज्मा बनाते हैं। ये आयन अत्यधिक प्रतिक्रियाशील होते हैं, इनमें लगभग सभी रासायनिक बंधनों को तोड़ने के लिए पर्याप्त ऊर्जा होती है, जो किसी भी उजागर सतह पर रासायनिक प्रतिक्रियाओं को प्रेरित करते हैं। विभिन्न गैस प्लाज़्मा में अलग-अलग रासायनिक गुण होते हैं। उदाहरण के लिए, ऑक्सीजन प्लाज्मा अत्यधिक ऑक्सीकरण करने वाला होता है, जो फोटोरेसिस्ट को ऑक्सीकरण करके गैस उत्पन्न करने में सक्षम होता है, जिससे सफाई प्रभाव प्राप्त होता है। संक्षारक गैस प्लाज्मा में उत्कृष्ट अनिसोट्रॉपी होती है, जो नक़्क़ाशी की आवश्यकताओं को पूरा करती है। प्लाज्मा उपचार से चमक पैदा होती है, इसलिए इसे ग्लो डिस्चार्ज कहा जाता है।
प्लाज्मा सफाई का तंत्र सतह के दागों को हटाने के लिए मुख्य रूप से प्लाज्मा में सक्रिय कणों के "सक्रियण" पर निर्भर करता है। प्रतिक्रिया तंत्र के संदर्भ में, प्लाज्मा सफाई में आम तौर पर निम्नलिखित प्रक्रिया शामिल होती है: अकार्बनिक गैसें प्लाज्मा अवस्था में उत्तेजित होती हैं; गैसीय पदार्थ ठोस सतह पर अधिशोषित हो जाते हैं; अधिशोषित समूह ठोस सतह पर अणुओं के साथ प्रतिक्रिया करके उत्पाद अणु बनाते हैं; उत्पाद के अणु गैस चरण में विघटित हो जाते हैं; और प्रतिक्रिया के अवशेष सतह से हटा दिए जाते हैं।

प्लाज्मा सफाई तकनीक की सबसे महत्वपूर्ण विशेषता यह है कि यह किसी भी सब्सट्रेट प्रकार का उपचार कर सकती है, जिसमें धातु, अर्धचालक, ऑक्साइड और अधिकांश बहुलक सामग्री जैसे पॉलीप्रोपाइलीन, पॉलिएस्टर, पॉलीमाइड, पॉलीविनाइल क्लोराइड, एपॉक्सी और यहां तक ​​कि पॉलीटेट्राफ्लुओरोएथिलीन भी शामिल है। यह संपूर्ण सतह और विशिष्ट क्षेत्रों, साथ ही जटिल संरचनाओं दोनों को साफ कर सकता है।