प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन संरचना

आईसीपी उपकरण में मुख्य रूप से चार भाग होते हैं: प्री-वैक्यूम चैंबर, नक़्क़ाशी चैंबर, गैस आपूर्ति प्रणाली और वैक्यूम सिस्टम।

(1) प्री-वैक्यूम चैम्बर

प्री{0}}वैक्यूम चैम्बर का कार्य यह सुनिश्चित करना है कि नक़्क़ाशी चैम्बर एक निर्धारित वैक्यूम स्तर पर बनाए रखा जाता है, बाहरी वातावरण (जैसे धूल, जल वाष्प) से प्रभावित नहीं होता है, और स्वच्छ कमरे से खतरनाक गैसों को अलग करता है। इसमें एक कवर, एक मैनिपुलेटर, एक ट्रांसमिशन मैकेनिज्म, एक आइसोलेशन दरवाजा आदि शामिल हैं।

(2) नक़्क़ाशी कक्ष

नक़्क़ाशी कक्ष आईसीपी नक़्क़ाशी उपकरण की मुख्य संरचना है। इसका नक़्क़ाशी दर, नक़्क़ाशी की ऊर्ध्वाधरता और खुरदरापन पर सीधा प्रभाव पड़ता है। नक़्क़ाशी कक्ष के मुख्य घटक हैं: ऊपरी इलेक्ट्रोड, आईसीपी रेडियो फ़्रीक्वेंसी इकाई, आरएफ रेडियो फ़्रीक्वेंसी इकाई, निचला इलेक्ट्रोड सिस्टम, तापमान नियंत्रण प्रणाली, आदि।

(3) गैस आपूर्ति प्रणाली

गैस आपूर्ति प्रणाली का उद्देश्य विभिन्न नक़्क़ाशी गैसों को नक़्क़ाशी कक्ष तक पहुंचाना है, और दबाव नियंत्रक (पीसी) और द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक (एमएफसी) के माध्यम से गैस प्रवाह दर और प्रवाह को सटीक रूप से नियंत्रित करना है। गैस आपूर्ति प्रणाली में एक गैस स्रोत बोतल, एक गैस वितरण पाइपलाइन, एक नियंत्रण प्रणाली, एक मिश्रण इकाई आदि शामिल हैं।

(4) वैक्यूम सिस्टम
दो वैक्यूम प्रणालियाँ हैं, एक प्री{0}}वैक्यूम चैम्बर के लिए और दूसरा नक़्क़ाशी चैम्बर के लिए। प्री-वैक्यूम चैम्बर को एक यांत्रिक पंप द्वारा खाली किया जाता है। केवल जब प्री-वैक्यूम चैम्बर में वैक्यूम स्तर निर्धारित मान तक पहुँच जाता है तो वेफर को स्थानांतरित करने के लिए आइसोलेशन दरवाजा खोला जा सकता है। नक़्क़ाशी कक्ष में वैक्यूम एक यांत्रिक पंप और एक आणविक पंप द्वारा प्रदान किया जाता है। नक़्क़ाशी कक्ष में प्रतिक्रिया से उत्पन्न गैसों को भी निर्वात प्रणाली द्वारा बाहर निकाला जाता है।